微米/纳米加工技术国家级重点实验室于1996年10月经上级机关批准建设，由北京大学和上海交通大学共同承担。2000年12月，实验室（上海交通大学部分）通过验收投入正式运行。
微米/纳米加工技术国家级重点实验室（上海交通大学部分）建立以来，紧紧围绕非硅三维微加工技术，开展非硅材料的微米/纳米加工技术的基础与应用基础及其创新工艺技术设计开发研究，突破了一系列关键技术，开发了一系列具有自主知识产权的非硅微米/纳米加工先进工艺技术，建立了面向多用户开放使用的先进的非硅的微米/纳米加工开放工艺规范，研制了一批关键MEMS器件。
实验室近十年来获得国家技术发明二等奖两项，国家自然科学二等奖一项，省部级奖励十多项。科研经费近亿元，其中高水平的SCI文章四百多篇，申请发明专利四百多项，其中授权发明专利近二百项。培养了四百多名硕士和博士研究生。
平台网址：微米/纳米加工技术国家级重点实验室
